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TMC主動(dòng)空氣消振器Electro-Damp II

Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計(jì)，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個(gè)專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用（如顯微光刻、檢測和計(jì)量工具）的數(shù)字用戶界面。

半導(dǎo)體制造工具對其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應(yīng)對地面噪音，系統(tǒng)必須足夠柔軟，以有效地過濾地面振動(dòng)，阻止其到達(dá)隔振表面。同時(shí)，系統(tǒng)必須足夠堅(jiān)硬，以應(yīng)對工作臺(tái)的力，以便工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定。

TMC主動(dòng)空氣消振器

除了采用慣性、主動(dòng)反饋?zhàn)枘嶂猓?/span>Electro-Damp II還使用信息前饋來進(jìn)一步改善系統(tǒng)響應(yīng)。前饋從工作臺(tái)控制器獲取關(guān)于工作臺(tái)位置和加速度的信息，然后處理這些數(shù)據(jù)，以向有效載荷提供力驅(qū)動(dòng)，從而大大減少了由工作臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號，或通過讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺(tái)測試模式自動(dòng)調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時(shí)或在更改有效載荷之后能夠快速簡便地進(jìn)行設(shè)置。

Electro-Damp II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應(yīng)用，如CMM）、只與電磁驅(qū)動(dòng)一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺(tái)）或與兩者結(jié)合使用（適用于*苛刻的應(yīng)用）。

TMC主動(dòng)空氣消振器Electro-Damp II特點(diǎn)

●六自由度主動(dòng)減振系統(tǒng)

●非接觸式電子高度控制

●數(shù)字控制器

●前饋輸入校正由工作臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)

●高力電磁執(zhí)行器可單獨(dú)提供或被集成在系統(tǒng)中

●減少有效載荷運(yùn)動(dòng)和由工作臺(tái)引起的運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定時(shí)間

●提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量

●模塊化設(shè)計(jì)允許用戶*定一個(gè)完整的單元或組件，以便OEM集成

●自動(dòng)調(diào)整前饋參數(shù)以減少設(shè)置

規(guī)格

通用
穩(wěn)定時(shí)間	0.2秒**
主動(dòng)自由度	6
高度控制精度	< 10 µm at sensorsd>
線性執(zhí)行器（水平和垂直）
直流電阻	5 Ω
力常數(shù)	高達(dá)12磅/安 \| 55牛/安
最大連續(xù)力	25磅\| 110牛
峰值力@ 7 A	87磅\| 385牛
電氣時(shí)間常數(shù)	2.6毫秒
行程	0.25英寸 \| 6.4毫米
橫向間隙	0.09英寸 \| 2.3毫米
雜散場	< 1 G @ 2 in.d>
尺寸（寬 x 深 x 高）	2.8 x 6.8 x 4.5英寸 71 x 173 x 114 mm
閥門（僅限主動(dòng)）
閥門類型	比例E/V伺服
控制類型	壓力或氣流
最大流量	1.5 SCFM
耗氣量（4個(gè)隔振器）	< 2 SCFM (no stage motion)d>
- 3 dB響應(yīng)	≤10 Hz（典型值）。
高度控制傳感器
輸入	非接觸式感應(yīng)（渦流）
電子配置	雙線式NAMUR 三線30或18毫米直徑
范圍	標(biāo)稱15毫米，用于30毫米電線標(biāo)稱6毫米，用于18毫米電線
分辨率	< 1 µmd>
被動(dòng)氣動(dòng)安裝座
標(biāo)準(zhǔn)承重能力	1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI
阻尼（10:1）	< 3 sd>
DC-2020數(shù)字控制器
處理器	雙核： DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz
模擬I/O	32/24通道（16/16位）
采樣率	標(biāo)稱值為5 kHz
前面板	電源開關(guān) 3色狀態(tài)指示燈以太網(wǎng)RJ-45 MicroSD卡插槽 2個(gè)BNC插座（每個(gè)都可以作為輸入端或輸出端） 2個(gè)USB 2.0端口（B型和Micro B型） FW升級按鈕
后面板	電源輸入模擬I/O插座氣動(dòng)端口以太網(wǎng)RJ-45 1個(gè)USB 2.0 RS-232 DB 9 繼電器插座
用戶界面	通過USB或以太網(wǎng)的GUI
電源	90-240 VAC，50-60 Hz，最大100 W
尺寸（寬 x 深 x 高）	16.8 x 9.0 x 1.75英寸 427 x 229 x 45 mm 1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)RETMA單元
功率放大器
通道	8
每個(gè)通道的最大電流	7 A
輸入	線性
峰值功率	總共700瓦
冷卻	環(huán)境，強(qiáng)制通風(fēng)
保護(hù)	可復(fù)位保險(xiǎn)絲、電子熱保護(hù)、過流、欠壓
操作	遙控或手動(dòng)
尺寸	1 RETMA機(jī)架單元高度 x 15英寸（381毫米）深