主動(dòng)隔振平臺(tái)由減振平臺(tái)和控制器兩部分組成。減振平臺(tái)采用精密金屬?gòu)椈蓪?shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振，由精密直線電機(jī)實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減振，用于反饋控制檢測(cè)的速度傳感器采用超精密震動(dòng)探頭，所有零部件封閉在機(jī)體內(nèi)，系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)不需提供額外壓縮空氣，能自適應(yīng)調(diào)節(jié)地基前饋，實(shí)現(xiàn)自由度減振。低頻振動(dòng)能量大，波長(zhǎng)長(zhǎng)，距離大，電鏡對(duì)低頻振動(dòng)敏感，電鏡內(nèi)部有氣缸（被動(dòng)），自行可以消除中高頻振動(dòng)。高頻振動(dòng)可以換位置解決，低頻振動(dòng)難以通過(guò)被動(dòng)去解決，用于將超精密儀器與低頻振動(dòng)隔離，人體工程學(xué)設(shè)計(jì)使用戶可以舒適地執(zhí)行要求應(yīng)用。另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。

　　主動(dòng)隔振平臺(tái)可以從0.7Hz開(kāi)始隔離振動(dòng)，適合用于得到更大低頻隔振性能，對(duì)于在1-10Hz范圍內(nèi)的隔振效果很是明顯，而精密儀器設(shè)備對(duì)于1-10Hz的振動(dòng)是很敏感的，便攜、緊湊型的設(shè)計(jì)，可以非常輕松地安裝在工作臺(tái)或者桌面上，對(duì)于輸入?yún)?shù)的只有一個(gè)要求就是要通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的交流電接口供電。

　　主動(dòng)隔振平臺(tái)能夠克服一般光學(xué)平臺(tái)以及氣浮平臺(tái)低頻共振，配合隔音箱能夠隔絕空氣的擾動(dòng)，能夠給精密測(cè)量提供振動(dòng)隔離，適用于時(shí)間頻率測(cè)量、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡，被設(shè)計(jì)用來(lái)使超精密儀器設(shè)備可以隔離來(lái)自于建筑地面的振動(dòng)，可隔離的頻率低于1Hz，該系統(tǒng)可理想應(yīng)用于光學(xué)顯微鏡、掃描探針顯微鏡及計(jì)量?jī)x器，可以輕松選擇并設(shè)置三個(gè)增益中的一個(gè)以獲得適合當(dāng)前環(huán)境的良好性能。